Пошук :
Довідка :
Електронний каталог : Методические указания для выполнения практической работы "Компьютерное моделирование процессов ио...
Методические указания для выполнения практической работы "Компьютерное моделирование процессов ио...
Книга
Автор:
Методические указания для выполнения практической работы "Компьютерное моделирование процессов ио... : по курсам: "Методы и технол. модификации поверхности твердых тел." и "Физ. материаловед. для микро-и наноэлектроники для студ. спец.: 8.090102 "Физ. материаловед." и 8.090801 "Микроэлектр. и пол...
Видавництво: НТУ "ХПИ", 2011 г.
ISBN відсутній
Автор:
Методические указания для выполнения практической работы "Компьютерное моделирование процессов ио... : по курсам: "Методы и технол. модификации поверхности твердых тел." и "Физ. материаловед. для микро-и наноэлектроники для студ. спец.: 8.090102 "Физ. материаловед." и 8.090801 "Микроэлектр. и пол...
Видавництво: НТУ "ХПИ", 2011 г.
ISBN відсутній
(UA) Книга
В 50120
659074 Главный филиал
Методические указания для выполнения практической работы "Компьютерное моделирование процессов ионной имплантации, распыления и ионно-лучевого перемешивания" : по курсам: "Методы и технол. модификации поверхности твердых тел." и "Физ. материаловед. для микро-и наноэлектроники для студ. спец.: 8.090102 "Физ. материаловед." и 8.090801 "Микроэлектр. и полупроводниковые приборы" / И.о. Нац. техн. ун-т "Харьковский политехнический институт"; Сост. Евгений Николаевич Зубарев, Владимир Иванович Пинегин.– Харьков : НТУ "ХПИ", 2011.– 17 с.
50 экз.– Библиогр.: с. 18 . – На рус. яз. : 3.00.
ББК В371.1я73-5
-- 1. Імплантація, іонна – Методичні посібники. 2. Тверді тіла – Модифікація – Методичні посібники.
В 50120
659074 Главный филиал
Методические указания для выполнения практической работы "Компьютерное моделирование процессов ионной имплантации, распыления и ионно-лучевого перемешивания" : по курсам: "Методы и технол. модификации поверхности твердых тел." и "Физ. материаловед. для микро-и наноэлектроники для студ. спец.: 8.090102 "Физ. материаловед." и 8.090801 "Микроэлектр. и полупроводниковые приборы" / И.о. Нац. техн. ун-т "Харьковский политехнический институт"; Сост. Евгений Николаевич Зубарев, Владимир Иванович Пинегин.– Харьков : НТУ "ХПИ", 2011.– 17 с.
50 экз.– Библиогр.: с. 18 . – На рус. яз. : 3.00.
ББК В371.1я73-5
-- 1. Імплантація, іонна – Методичні посібники. 2. Тверді тіла – Модифікація – Методичні посібники.