Пошук :
Довідка :
Електронний каталог : Методические указания для выполнения практической работы "Профили распределения имплантированных ...
Методические указания для выполнения практической работы "Профили распределения имплантированных ...
Книга
Автор:
Методические указания для выполнения практической работы "Профили распределения имплантированных ... : по курсам: "Методы и технол. модификации поверхности твердых тел" и "Физ. материаловедение для микро- и наноэлектроники" для студ. спец.: 8.090102 "Физ. материаловедение" и 8.090801 "Микроэлектр...
Видавництво: НТУ "ХПИ", 2011 г.
ISBN відсутній
Автор:
Методические указания для выполнения практической работы "Профили распределения имплантированных ... : по курсам: "Методы и технол. модификации поверхности твердых тел" и "Физ. материаловедение для микро- и наноэлектроники" для студ. спец.: 8.090102 "Физ. материаловедение" и 8.090801 "Микроэлектр...
Видавництво: НТУ "ХПИ", 2011 г.
ISBN відсутній
(UA) Книга
В 50119
659073 Главный филиал
Методические указания для выполнения практической работы "Профили распределения имплантированных частиц и выделенной энергии в твердых телах" : по курсам: "Методы и технол. модификации поверхности твердых тел" и "Физ. материаловедение для микро- и наноэлектроники" для студ. спец.: 8.090102 "Физ. материаловедение" и 8.090801 "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы" / И.о. Нац. техн. ун-т "Харьковский политехнический институт"; Сост. Владимир Иванович Пинегин, Евгений Николаевич Зубарев.– Харьков : НТУ "ХПИ", 2011.– 15 с.
50 экз.– Библиогр.: с. 15 . – На рус. яз. : 2.00.
ББК В371.1я73-5
-- 1. Імплантація, іонна – Методичні посібники. 2. Тверді тіла – Вплив радіації – Методичні посібники.
В 50119
659073 Главный филиал
Методические указания для выполнения практической работы "Профили распределения имплантированных частиц и выделенной энергии в твердых телах" : по курсам: "Методы и технол. модификации поверхности твердых тел" и "Физ. материаловедение для микро- и наноэлектроники" для студ. спец.: 8.090102 "Физ. материаловедение" и 8.090801 "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы" / И.о. Нац. техн. ун-т "Харьковский политехнический институт"; Сост. Владимир Иванович Пинегин, Евгений Николаевич Зубарев.– Харьков : НТУ "ХПИ", 2011.– 15 с.
50 экз.– Библиогр.: с. 15 . – На рус. яз. : 2.00.
ББК В371.1я73-5
-- 1. Імплантація, іонна – Методичні посібники. 2. Тверді тіла – Вплив радіації – Методичні посібники.